MAKIMURA Tetsuya

Affiliation
Institute of Pure and Applied Sciences
Official title
Associate Professor
Phone
029-853-6286
Fax
029-853-5205
Research fields
Material processing/Microstructural control engineering
Research keywords
laser ablation
micromachining
Extreme Ultraviolet
inorganic transparent materials
laser plasma
soft X-ray
Research projects
レーザープラズマ極端紫外光による生体適合性材料の3次元高アスペクトマイクロ加工2022 -- 2024牧村 哲也Japan Society for the Promotion of Science/Grant-in-Aid for Scientific Research(C)4,030,000Yen
レーザープラズマ極端紫外光によるアブレーション加工2018 -- 2020牧村 哲也Japan Society for the Promotion of Science/Grant-in-Aid for Scientific Research(C)4,290,000Yen
X線エキシトン法による無機透明材料のナノ加工技術の開発2001-09 -- 2004-03牧村哲也新エネルギー・産業技術総合研究開発機構/その他30,890,000Yen
X線エキシトン法による無機透明材料のナノ加工技術の開発2004-04 -- 2006-03牧村哲也/その他30,000,000Yen
Nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2001-09 -- (current)/（選択しない）
Study on synthesizing new materials by means of laser ablation -- (current)/
ポリジメチルシロキサンの軟Ｘ線直接加工2010 -- 2013Japan Society of for the Promotion of Science/基盤研究(B)15,730,000Yen
レーザープラズマ軟Ｘ線による透明材料のナノ加工とナノ物質創製　　　　　　　　　　2005 -- 2007Japan Society of for the Promotion of Science/基盤研究(B)18,720,000Yen
無機透明材料のナノ加工のためのＸ線エキシトン空間閉じ込め2005 -- (current)Japan Society of for the Promotion of Science/萌芽研究3,000,000Yen
レーザーアブレーション法により作成したSi微粒子からの可視発光の機構の研究1996 -- (current)Japan Society of for the Promotion of Science/奨励研究(A)1,000,000Yen
Academic background
-- 1989Nagoya University Faculty of Science 物理学
-- 1994Nagoya University Graduate School, Division of Natural Science 物理学
Degree
博士(理学)Nagoya University
Academic societies
-- (current)SOCIETY OF NANO SCIENCEAND TECHNOLOGY
-- (current)SOCIETY OF NANO SCIENCEAND TECHNOLOGY
1996-04 -- (current)The Japan Society of Applied Physics
-- (current)The Japan Society of Applied Physics
-- (current)THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN
2005 -- (current)The Laser Society of Japan
2006 -- (current)THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN
Articles
  • Micrometer-Scale Photo-Direct Machining of Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma EUV Radiations
    Makimura Tetsuya
    Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers/pp.383-386, 2018-02
  • Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm
    Thanh Hung Dinh; Kondo Yoshiki; Tamura Toshiki; Ono Y...
    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS/87(12), 2016-12
    PubMed Tsukuba Repository
  • Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses
    Lokasani Ragava; Arai Goki; Kondo Yoshiki; Hara Hiroy...
    APPLIED PHYSICS LETTERS/109(19), 2016-11
  • Characteristics of extreme ultraviolet emission from mid-infrared laser-produced rare-earth Gd plasmas
    Higashiguchi Takeshi; Li Bowen; Suzuki Yuhei; Kawasaki Masat...
    Optics Express/21(26)/pp.31837-31845, 2013-12
  • Absorption mechanism of the second pulse in double-pulse femtosecond laser glass microwelding
    Shizhu Wu; Dong Wu; Jian Xu; Haiyu Wang; Makimura Tetsuya; Koj...
    Optics Express/21(20)/pp.24049-24059, 2013-10
  • Femtosecond Cascade-Excitation Spectroscopy for Non-rediative Deexcitation and Lattice Relaxation of the Self-trapped Exciton in NaCl
    牧村 哲也
    Phys. Rev. Lett./67/p.2701-2704, 1991-01
  • Femtosecond absorption studies of self-trapped exciton relaxation in NaCl crystals under cascade excitation
    牧村 哲也
    Technical Digest series, Optical Society of America/11/p.258, 1991-01
  • Femtosecond dynamics of excition relaxation in alkali halides
    牧村 哲也
    Proceedings of the XII International Conference on Defects in Insulating Materials/1/p.84-98, 1992-01
  • Femtosecond dynamics of exciton relaxation in alkali halides
    牧村 哲也
    Proceedings of the XII international Conference on Defects in Insulating Materials (World Scientific)/1/p.84-98, 1992-01
  • Femtosecond time-resolved spectroscopic studies of the dynamics of the relaxation of excitons in the lowest adiabatic potential energy surface in NaCl
    牧村 哲也
    J. Phys.: Condens. Matter/6/p.4581-4600, 1994-01
  • レーザーアブレーション法による可視発光シリコン超微粒子の作成
    牧村 哲也
    表面/34/p.467-473, 1996-01
  • レーザーアブレーションの動的機構とナノクラスター生成
    牧村 哲也
    レーザー研究/24/p.963-970, 1996-01
  • Visible Light Emission from SiOx Films Synthesized by Laser Ablation
    牧村 哲也
    Japanese Journal of Applied Physics/35(12B)/p.L1703-L1705, 1996-01
  • Dynamics of Silicon Plume Generated by Laser Ablation and Its Chemical Reaction
    牧村 哲也
    Applied Surface Science/96-98/p.242-250, 1996-01
  • Time-resolved X-ray Absorption Spectroscopy for Laser-ablated Silicon Particles in Xenon Gas
    牧村 哲也
    Jpn. J. Appl. Phys./35/p.L735-L737, 1996-01
  • Light Emission from Nanometer-Sized Silicon Particles Fabricated with Laser Ablation Method
    牧村 哲也
    Jpn. J. Appl. Phys./35/p.4780-4784, 1996-01
  • Nanometer-sized silicon particles synthesized by laser ablation of a silicon target in rare gas
    牧村 哲也
    Transactions of Materials Research Sciety of Japan/20/p.392-395, 1996-01
  • Nano-structured silicon-based films with visible light emission synthesized by laser ablation
    牧村 哲也
    Mat. Res. Soc. Symp. Proc./452/p.135-140, 1996-01
  • 可視発光シリコンナノ微粒子-レーザーアブレーション-
    牧村 哲也
    応用物理/67/p.817-821, 1998-01
  • Silicon Nanoparticles Embedded in SiO2 Films with Visible Photoluminescence
    牧村 哲也
    Applied Surface Science/127-129/p.388-392, 1998-01
  • Silicon Nanoparticles Embedded in SiO2 Films with Visible Photoluminescence
    牧村 哲也
    Applied Surface Science/127-129/p.388-392, 1998-01
  • Dynamics of Si Plume Produced by Laser Ablation in Ambient Inert Gas and Formation of Si Nanoparticles
    牧村 哲也
    Applied Surface Science/127-129/p.368-372, 1998-01
  • レーザーアブレーションによるSiナノ微粒子形成の物理機構
    牧村 哲也
    *EMPTY*/99(136)/p.13-18, 1999-01
  • Siナノ微粒子の生成のダイナミックスと可視発光
    牧村 哲也
    *EMPTY*/3/p.18-21, 1999-01
  • Formation Process of Si Nanoparticles Formed by Laser Ablation Method
    牧村 哲也
    Microcrystalline and Nanocrystalline Semiconductors/xiv+569/p.51-56, 1999-01
  • more...
Books
  • Optics and Apparatus for Excimer Laser/EUV Microprocessing
    Makimura Tetsuya
    Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering/Springer Nature Switzerland AG, 2020-01
  • Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufactoring (LAMOM) XXIV
    Makimura Tetsuya
    SPIE, 2019-03
  • Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXI
    Makimura Tetsuya
    SPIE, 2016-03
  • Siナノクラスター:可視発光と発光機構
    牧村 哲也
    1999-01
  • Formation Process of Si Nanoparticles Resulting from Laser Ablation Observed by a Decomposition Method
    牧村 哲也
    1999-01
  • SiOx Films with Tunable and Intense Photoluminescence Synthesized by Laser Ablation
    牧村 哲也
    1999-01
  • シリコンナノ微粒子の生成の動的機
    牧村 哲也
    2000-01
  • Formation Proccess of Si Nanoparticles in rare Gas Observed by a Decomposition Method
    牧村 哲也
    2000-01
  • High Resolution scanning Tunneling Microscope Observation of Si Nanoparticles Fabricated by Laser Ablation and Sparsely Deposited on HOPG
    牧村 哲也
    2000-01
  • Si Nanoparticles in SiO2 with Intense Visible Photoluminescence Synthesized from SiOx Film Deposited by Laser Ablation
    牧村 哲也
    2000-01
  • Doping of Si Functional Impurities in Si Nanoparticles Using Laser Ablation
    牧村 哲也
    2000-01
  • Formation of Si Nanoparticles Observed by Time-Resolved Imaging using a Laser Decomposition Method
    牧村 哲也
    2000-01
  • 1.54-micro m Photoluminescence of Er-Doped Silicon Nanoparticles Fabricated by Laser Ablation
    牧村 哲也
    2000-01
  • レーザーアブレーション法による可視発光Siナノ微粒子の生成ダイナミックスと表面修飾
    水田泰治; 牧村哲也; 村上浩一
    レーザ加工学会誌, 2003-01
  • レーザーマイクロ・ナノ プロセシング
    牧村 哲也
    シーエムシー出版, 2004-01
  • レーザーマイクロ・ナノプロセッシング
    牧村哲也他; +牧村 哲也
    シーエムシー出版, 2004-01
  • レーザーとナノ物性---レーザアブレーションで創製したSiナノ構造の物性---
    村上浩一; 牧村哲也; 深田直樹
    レーザー研究, 2005-01
  • 科学大辞典
    牧村哲也他共著; +牧村 哲也
    丸善, 2005-01
  • 最新レーザプロセッシングの基礎と産業応用
    牧村哲也他共著; +牧村 哲也
    電気学会, 2007-03
  • ガラスの微細加工
    牧村哲也
    2006年度光技術動向調査報告書 （光産業技術振興協会）, 2007-01
  • レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工表面技術
    牧村哲也; 鳥居周一; 新納弘之; 村上浩一
    表面技術, 2009-11
  • レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム
    鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
    レーザー研究, 2010-01
  • Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining
    Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Okazaki Kota; Nakamura ...
    DAMAGE TO VUV, EUV, AND X-RAY OPTICS III/SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING, 2011-01
  • Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays
    Makimura Tetsuya; Fujimori Takashige; Uchida Satoshi; Mur...
    Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics/SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING/pp.0-0, 2007-01
  • 1.5 mu m light emission of Er 31 ions doped in SiO2 films including Si nanocrystallites and in SiOx films
    Makimura Tetsuya; Uematsu Hiroshi; Okada Yuuki; Murakami ...
    COLA'05: 8th International Conference on Laser Ablation/IOP PUBLISHING LTD/pp.466-469, 2007-01
  • more...
Conference, etc.
  • Micrometer-scale high-aspect machining of PDMS elastomer using laser plasma EUV radiation
    MAKIMURA Tetsuya
    The 23th International Symposium on Laser Precision Microfabrication/2023-06-13--2023-06-16
  • EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
    Oguchi Kotaro; Wang Yuhao; Makimura Tetsuya
    Photonics West 2023/2023-01-31--2023-02-02
  • Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation
    Oguchi Kotaro; Kira Erika; Urai Hirari; Makimura Tetsuya
    16th International Conference on Laser Ablation/2022-04-24--2022-04-29
  • High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
    Makimura Tetsuya
    The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication/2021-06-8--2021-06-11
  • Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma
    Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Kira Eriko; Niino Hiroyuki
    The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing/2019-05-21--2019-05-24
  • Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma
    牧村 哲也
    The 8th International
  • Silica ablation process induced by nanosecond EUV irradiation
    Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
    SPIE Optics + Optoelectronics 2019/2019-04-01--2019-04-04
  • Silica nano-ablation mechanism under irradiation with nanosecond EUV radiation
    Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
    SPIE Photonics West/2019-02-02--2019-02-07
  • Micrometer-Scale Photo-Direct Machining of Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma EUV Radiations
    Urai H.; Makimura T.; Ogawa M.
    15th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL)/2016-05-22--2016-05-27
  • Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma
    Makimura Tetsuya
    SPIE Photonics West 2018
  • LPP EUV光によるPDMSの高アスペクトマイクロ加工
    牧村 哲也
    第14回Ｘ線結像光学シンポジウム/2017-11-29--2017-11-30
  • Photo-direct machining of polymers using laser plasma EUV sources
    Makimura Tetsuya
    Pacific Rim Laser Damage/2017-05-21--2017-05-24
  • Microfabrication of through holes in polydimethylsiloxane (PDMS) sheets using a laser plasma EUV source
    Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Niino Hiroyuki
    Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII/2017-01-30--2017-02-02
  • Micrometer-scale photo direct machining of PDMS using laser plasma EUV light
    Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Niino Hiroyuki
    The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication/2017-06-05--2017-06-08
  • Micrometer-scale photo direct machining of polydimethylsiloxane using laser plasma EUV sources
    Makimura Tetsuya
    The 7th International Congress on Laser Advanced Materials Processing/2015-05-26--2015-05-29
  • Response of polydimethylsiloxane (PDMS) to extreme ultraviolet light emitted from laser produced plasma
    Makimura Tetsuya
    SPIE Optics+Optoelectronics/2015-04-13--2015-04-16
  • Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII
    Makimura Tetsuya
    SPIE Photonics West/2016-02-14--2016-02-17
  • Photo-direct machining of polydimethylsiloxane using laser plasma EUV sources
    Makimura Tetsuya
    SPIE Photonics West/2016-02-15
  • Ablation and micromachining using UV radiation from laser-produced plasma
    Makimura Tetsuya
    1st Workshop on Application of Laser Plasma X-ray and EUV sources in Technology and Science/2015-07-06--2015-07-09
  • レーザープラズマ軟X線によるガス中での無機材料のアブレーション
    牧村哲也; 藤森隆成; 新納弘之; 村上浩一
    レーザー学会学術講演会第２６回年次大会/2006-02-01
  • レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工
    内田智; 藤森隆成; 牧村哲也; 村上浩一; 新納弘之
    電気学会 光・量子デバイス研究会/2006-03-01
  • Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays
    Tetsuya Makimura; Hisao Miyamoto; Satoshi Uchida; Takashi...
    ____/2006-05
  • Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays
    Tetsuya Makimura; Satoshi Uchida; Takashige Fujimori; Hir...
    ____/2007-02
  • Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays
    Tetsuya Makimura; Satoshi Uchida; Takashige Fujimori; Hir...
    ____/2007-04
  • Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays
    Tetsuya Makimura; Satoshi Uchida; Takashige Uchida; Kouic...
    ____/2007-04
  • more...
Intellectural property rights
  • 光パターニングによる無機透明材料を加工する光加工装置及び光加工方法
    牧村哲也
  • シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子
    重川秀実; 畠賢治; 村上浩一; 牧村哲也
  • Photo machining apparatus and photo machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-pattering
    牧村哲也
  • Photo-machining appratus and photo-machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-patterning
    牧村哲也
  • 軟X線加工装置及び軟X線加工法
    牧村哲也; 村上浩一
Teaching
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics IVAUniversity of Tsukuba.
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics IIIAUniversity of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-08Research in Applied Physics VBUniversity of Tsukuba.
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics IAUniversity of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-08Research in Applied Physics IIIBUniversity of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-08Research in Applied Physics IIBUniversity of Tsukuba.
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics VBUniversity of Tsukuba.
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics IVBUniversity of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-08Fundamental Labs IIUniversity of Tsukuba.
2024-10 -- 2025-02Research in Applied Physics VAUniversity of Tsukuba.
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Talks
  • Micrometer scale photo direct machining of PDMS using laser plasma EUV light
    Makimura Tetsuya
    The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)/2017-06-05--2017-06-08
  • Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x rays
    Tetsuya Makimura; Shuichi Torii; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    2011 Pacifig-Rim Laser Damage, Optical Materials for High Power Lasers/2011-11-07
  • レーザープラズマ軟X線によるSiO2, PMMA, PDMSのマイクロ・ナノ加工
    牧村 哲也; 鳥居 周一; 賀廷超; 王長順; 宇理須 恒雄; 岡崎 功太; 中村 大輔; 高橋 昭彦; 岡田 龍雄...
    ナノ学会第8回大会/2010-05-01
  • Micromachining of transparent materialswith Fresnel diffraction of infrared radiation
    K. Okazaki; S. Torii; T. Makimura; H. Niino; K. Murakami...
    11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication/2010-06-01
  • レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリコーンゴムのアブレーション加工
    牧村 哲也
    2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会/2010-09-14
  • Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of infrared laser with fresnel diffraction
    K. Okazaki; S. Torii; T. Makimura; H. Niino; K. Murakami...
    IEEE Region 10 Conference 2010/2010-11-01
  • レーザープラズマＸ線による透明材料の微細加工
    鳥居 周一; 牧村 哲也; 岡崎 功太; 中村 大輔; 高橋 昭彦; 岡田 龍雄; 新納 弘之; 村上 浩一
    第１回先端ナノバイオフォーラム/2011-11-15
  • レーザー励起EUV 光によるアブレーションと微細加工
    牧村 哲也; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
    平成22年度レーザープラズマ粒子加速研究会/2010-12-07
  • レーザープラズマ軟Ｘ線によるポリメチルメタクリレートのアブレーション微細加工
    鳥居 周一; 牧村 哲也; 岡崎 功太; 中村 大輔; 高橋 昭彦; 岡田 龍雄; 新納 弘之; 村上 浩一
    2010年春季第 58 回応用物理学関係連合講演会/2011-03-01
  • Micromachining of polymethylmethacrylate and polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays
    Shuichi Torii; Tetsuya Makimura; Kouta Okazaki; Daisuke ...
    The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, (LPM2011)/2011-06-07
  • 赤外光のフレネル回折を利用した透明材料の微細加工
    岡崎功太; 鳥居周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一; 中村大輔; 高橋昭彦; 岡田龍雄
    第５７回応物理学関係連合講演会/2010-03-18
  • Silica Nano-Ablation Process Induced by Laser Plasma Soft X-ray Irradiation
    Tetsuya Makimura; Shuichi Torii; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2009)/2009-07-29
  • Nano- and micromachining of transparent materials using laser plasma soft X-Rays
    Tetsuya Makimura; Shuichi Torii; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    The 8th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO/Pacific Rim 2009)/2009-08-30
  • シリカガラスの軟Ｘ線アブレーション加工におけるイオン化過程
    鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
    2009年秋季 第70回応用物理学関係連合講演会/2009-09-09
  • 金属グリッドマスクを用いたTEA CO2レーザーによるSiO2の微細加工
    岡崎 功太; 鳥居 周一; 遠矢 和勇騎; 蔦 浩司; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 中村 大輔; 高...
    第62回電気関係学会九州支部連合大会/2009-09-29
  • レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム
    鳥居周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一
    第10回Ｘ線結像光学シンポジウム/2009-11-06
  • レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリカガラスのアブレーション加工
    日高 真人; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
    第10回Ｘ線結像光学シンポジウム/2009-11-06
  • TEA CO2レーザー光と金属マスクのフレネル回折を利用したSiO2の微細加工
    岡崎 功太; 鳥居 周一; 遠矢 和勇騎; 蔦浩司; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 中村 大輔; 高橋 ...
    応用物理学会九州支部学術講演会/2009-11-21
  • Silica nano-ablation process induced by laser plasma soft x-ray irradiation
    Tetsuya Makimura; Shuichi Torii; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    10th International Conference on Laser Ablation/2009-11-22
  • 赤外レーザーと近接場光を組み合わせたシリカガラスの微細加工
    岡崎 功太; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 中村 大輔; 高橋 昭彦; 岡田 龍雄
    レーザー学会第395回研究会/2009-12-07
  • レーザー生成EUV光によるシリカガラスのアブレーション
    鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
    レーザー学会第394回研究会/2009-12-08
  • XeF2ガスを用いた放射光エッチングにより形成した表面構造への神経細胞成長応答
    賀 廷超; 牧村哲也; 王長順; 手老龍吾; 宇理須恒雄
    2009年春季第５６回応用物理学関係連合講演会/2009-04-01
  • Process of Silica Nano-Ablation Using Laser Plasma Soft X-Rays
    Tetsuya Makimura; Takashige Fujimori; Niino Hiroyuki; Kou...
    9th International Conference on Laser Precision Microfabrication/2008-09-25
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのナノアブレーションプロセス
    鳥井周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一
    2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会/2009-04-02
  • 透明材料の微細加工のためのレーザー生成プラズマ極端紫外光源の開発
    岡崎功太; 鳥井周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一; 高橋昭彦; 岡田龍雄
    2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会/2009-04-02
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Professional activities
2016-01 -- 2019-02SPIEPhotonics West LAMOM conferenence chair
2015-06 -- 2016-06The Second Smart Laser Processing Conference 2016Program Committee
2009 -- 2012The Laser Society of Japan「レーザー駆動XUV～X線の産業応用」専門委員会
-- 2010-03THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN量子ビームによるナノバイオエレクトロニクス技術調査専門委員会
2011-04 -- 2013-03The Japan Society of Applied Physics講演企画運営委員会
2007-08 -- 2009-1210th International Conference on Laser Ablation Advisory Committee
-- (current)THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN極限レーザマテリアル加工応用委員会
2008-06 -- 2009-06LAMP2009 Steering Committee
2009-06 -- 2011-12LPM2011 Steering Committee, Program Committee
2009-03 -- 2009-10第10回X線結像光学シンポジウム 現地実行委員
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University Management
1999-04 -- (current)物理工学LAN委員会委員長

(Last updated: 2024-08-21)