SOHDA Yasunari

Affiliation
Institute of Pure and Applied Sciences
Official title
Professor
Email
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Research keywords
Electron Beam Lithography
Charging
Electron Source
Electron Scattering
Electron Optics
Scanning Electron Microscope
Degree
2003-03博士（工学）大阪大学
Academic societies
-- (current)日本表面真空学会
-- (current)The Japan Society of Applied Physics
-- (current)THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN
Articles
Conference, etc.
  • 走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
    田上 就也; 早田 康成; 関口 隆史
    日本顕微鏡学会, SEMの物理学分科会研究会/2020-11-13
  • 走査電子顕微鏡における帯電現象と二次電子放出の関係
    田上 就也; 早田 康成; 関口 隆史
    日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会/2021-06-14
  • 試料帯電が反射電子像に与える影響の評価－ハレーション
    園田 涼輔; 早田 康成; 関口 隆史
    日本顕微鏡学会, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会/2021-06-14
  • Evaluation of Defect Distribution at SiO2/Si Interface Generated by Electron Beam Irradiation
    清水崚央; 早田 康成; 蓮沼隆
    第85回応用物理学会秋季学術講演会/2024-09-16
  • Evaluation of Defect Distribution at SiO2/Si Interface Generated by Electron Beam Irradiation
    清水 崚央; 早田 康成; 蓮沼 隆
    第30回 電子デバイス界面テクノロジー研究会（EDIT30）/2025-01-23
  • Electron beam induced defect formation at SiO2/Si interface
    清水 崚央; 早田 康成; 蓮沼 隆
    第29回 電子デバイス界面テクノロジー研究会/2024-02-01
  • 走査電子顕微鏡の電子ビーム形状推定
    早田 康成; 田中満
    第８６回応用物理学会秋季学術講演会/2025-09-08
  • 電子源からの放出電子のランダムサンプリングシミュレーション
    岸田一甫; 早田 康成; 村田英一
    第８６回応用物理学会秋季学術講演会/2025-09-08
  • ファセット電子源のクーロン効果シミュレーション
    里見昂哉; 早田 康成
    第８６回応用物理学会秋季学術講演会/2025-09-08
  • Asymmetric Electron Beam Profile Estimation in Scanning Electron Microscopy
    早田 康成; 田中 満
    第73回応用物理学会春季学術講演会/2026-03-15
  • Analysis of Aberration Characteristics during Electron Source Tilting using the Boundary Charge Method
    早田 康成; 岸田一甫; 村田英一
    第73回応用物理学会春季学術講演会/2026-03-15
  • Electron Beam Size Estimation in Scanning Electron Microscope
    早田 康成; Tomoya Oikawa; Daichi Tokura; Yuki Soshi
    The 38th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2025)/2025-11-17
  • Characterization of secondary electron detector in normal and low vacuum SEM
    YAO Yuanzhao; Sonoda Ryosuke; 早田康成; 関口隆史
    The 14th International Vacuum Electron Sources Conference/2023-09-25--2023-09-28
  • Secondary electron detectors for low vacuum SEM (comparison of UVD and ET detectors)
    Yuanzhao Yao; 園田涼輔; 早田康成; 関口 隆史
    72nd JSAP Spring Meeting 2025/2025-03-14--2025-03-17
  • 球面電子源のクーロン効果シミュレーションにおける仕事関数依存性
    早田 康成; 姫田幸毅
    2025年第86回応用物理学会春季学術講演会/2025-03-14--2025-03-17
  • 走査電子顕微鏡での電子ビームサイズ推定におけるエッジ効果補正
    早田 康成; 戸倉大智; 曽雌侑輝
    2025年第86回応用物理学会春季学術講演会/2025-03-14--2025-03-17
  • 球⾯電⼦源のクーロン効果シミュレーション
    早田 康成; 姫田幸毅
    2024年第85回応用物理学会秋季講演会/2024-09-16--2024-09-20
  • ⾛査電⼦顕微鏡の電⼦ビームサイズ推定⽤試料の提案
    早田 康成; 戸倉大智; 曽雌侑輝
    2024年第85回応用物理学会秋季講演会/2024-09-16--2024-09-20
  • Comparison of SE emission from alumina and SUS spheres using low vacuum SEM
    Yuanzhao Yao; 早田康成; 関口 隆史
    81st Annual Meeting of the Japan Society of Microscopy/2025-06-09--2025-06-11
  • Characteristics of secondary electron emission from insulators analyzed by Al2O3 sphere image
    Yuanzhao Yao; 早田康成; 関口 隆史
    80th Annual Meeting of the Japan Society of Microscopy/2024-06-03--2024-06-05
  • Characterization of secondary electron detector（UVD）in low vacuum SEM
    Yuanzhao Yao; 園田涼輔; 早田康成; 関口 隆史
    80th Annual Meeting of the Japan Society of Microscopy/2024-06-03--2024-06-05
  • 暗視野STEM法によるコリネ菌中のFe分布の観察
    小嶋俊平; 早田 康成; 関口隆史
    顕微鏡学会/2023-06-29--2023-06-30
  • SEMにおける斜出射二次電子・反射電子検出の特徴
    関口 隆史; 早田 康成; 園田 涼輔; 姚 遠昭
    顕微鏡学会/2023-06-29--2023-06-30
  • SEMを使った明視野・暗視野STEM法によるコリネ菌の観察
    関口 隆史; 鈴木 千紘; 早田 康成
    顕微鏡学会/2022-05-11--2022-05-13
  • 走査電子顕微鏡用電子源
    早田 康成
    日本表面真空学会 2019 年6 月研究例会「電子ビーム技術の新展開」/2019-06-25
Teaching
2025-04 -- 2025-07Electromagnetism IUniversity of Tsukuba.
2025-11 -- 2025-12Electromagnetism 2University of Tsukuba.
2025-04 -- 2025-07Scanning Electron MicroscopeUniversity of Tsukuba.
2024-11 -- 2024-12Electromagnetism 2University of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-07Electromagnetism IUniversity of Tsukuba.
2024-04 -- 2024-07Scanning Electron MicroscopeUniversity of Tsukuba.
2023-04 -- 2023-07現代物理と先端工学筑波大学
2023-07 -- 2023-08応用物理工学概論筑波大学
2022-04 -- 2022-07電磁気学Ⅰ筑波大学
2023-11 -- 2023-12Electromagnetism 2University of Tsukuba.
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Professional activities
-- (current)表面真空学会　真空部会
-- (current)MNC論文委員会
-- (current)PMJ論文委員会

(Last updated: 2026-04-22)