村上 浩一(ムラカミ コウイチ)
- 論文
- Isotope Effect of Penetration of Hydrogen and Deuterium into Silicon through Si/SiO2 Interface
Murakami Kouichi; Fukata Naoki; Ishioka Kunie; Kitajima ...
Jpn J Appl Phys/48(9)/pp.91204-091204-4, 2009-09 - XUV-X線による材料加工
牧村 哲也; 新納 弘之; 鳥居 周一; 村上 浩一
レーザー研究/38(12)/pp.957-962 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム
鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー研究/38(12)/pp.987-991, 2010-12 - Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation
Okazaki K.; Torii S.; Makimura T.; Niino H.; Murakami K....
JOURNAL OF LASER MICRO NANOENGINEERING/5(3)/pp.269-272, 2010-12 - X線エキシトン法による石英のナノ加工
牧村 哲也; 劔持 洋一; 宮本 久生; 森 道昭; 近藤 公伯; 村上 浩一
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2004(1)/pp.1-4, 2004-03 - レーザーとナノ物性 : レーザーアブレーションで創製したSiナノ構造の物性
村上 浩一; 牧村 哲也; 深田 直樹
レーザー研究/33(1)/pp.5-11, 2005-01 - レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工
内田 智; 藤森 隆成; 牧村 哲也; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2006(1)/pp.49-52, 2006-03 - レーザープラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション
藤森 隆成; 牧村 哲也; 内田 智; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2006(1)/pp.53-56, 2006-03 - Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-rays at around 10nm
MAKIMURA Tetsuya; MIYAMOTO Hisao; UCHIDA Satoshi; FUJIMOR...
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes/45(6)/pp.5545-5547, 2006-06 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工
牧村 哲也; 内田 智; 藤森 隆成; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/352(0)/pp.21-25, 2006-09 - レーザプラズマ軟X線による無機透明材料のアブレーション加工
牧村 哲也; 内田 智; 藤森 隆成; 新納 弘之; 村上 浩一
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society/127(2)/pp.179-184, 2007-02 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションとそのメカニズムの検討
藤森 隆成; 牧村 哲也; 井上 毅彦; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2007(16)/pp.41-44, 2007-03 - CO_2レーザー生成プラズマEUV光を用いた透明材料の加工
高橋 昭彦; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 岡崎 功太; 秋山 智哉; 中村 大輔; 岡...
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/381(0)/pp.1-4, 2008-12 - レーザープラズマ軟X線による透明材料のマイクロ・ナノ加工と加工プロセス
牧村 哲也; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/382(0)/pp.7-12, 2009-01 - レーザプラズマ軟X線による透明材料の微細加工法の探索
鳥居 周一; 牧村 哲也; 村上 浩一; 新納 弘之; 岡崎 功太; 高橋 昭彦; 秋山 智哉; 中村 大輔; 岡...
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2009(32)/pp.49-53, 2009-03 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション過程
牧村 哲也; 藤森 隆成; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society/129(4)/pp.595-600, 2009-04 - レーザ生成プラズマEUV光による透明材料の直接加工
高橋 昭彦; 岡崎 功太; 中村 大輔; 岡田 龍雄; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2009(42)/pp.19-22, 2009-05 - ナノ加工を目指したレーザプラズマ軟X線によるシリカガラスの非熱的アブレーションプロセスの探索
鳥居 周一; 藤森 隆成; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society/129(7)/pp.1186-1191, 2009-07 - 27aYD-10 ヨウ素気相ドーピングされたルブレン単結晶の電子スピン共鳴(界面・分子デバイス2,領域7,分子性固体・有機導体)
丸本 一弘; 新井 徳道; 後藤 博正; 村上 浩一; 富成 征弘; 竹谷 純一; 下位 幸弘; 田中 久暁; 黒...
日本物理学会講演概要集/64(2)/p.771, 2009-08 - レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工
牧村 哲也; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan/60(11)/pp.687-692, 2009-11 - 赤外レーザーと近接場光を組み合わせたシリカガラスの微細加工
岡崎 功太; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 中村 大輔; 高橋 昭彦; 岡田 龍雄
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/395(0)/pp.23-28, 2009-12 - レーザー生成EUV光によるシリカガラスのアブレーション
鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/394(0)/pp.27-32, 2009-12 - Micromachining of Silica Glass Using EUV Radiation of Laser-Produced Plasma (特集 量子ビームによるナノバイオエレクトロニクス)
Takahashi Akihiko; Torii Shuichi; Makimura Tetsuya; Murak...
電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）/130(10)/pp.1779-1783, 2010-10 - 21pGS-7 高移動度ルブレン単結晶トランジスタの半導体界面状態の電子スピン共鳴観測(21pGS 界面デバイス1,領域7(分子性固体・有機導体))
丸本 一弘; 新井 徳道; 後藤 博正; 木島 正志; 村上 浩一; 富成 征弘; 竹谷 純一; 下位 幸弘; 田...
日本物理学会講演概要集/65(1)/p.889, 2010-03 - Si結晶における水素の侵入過程と状態
村上 浩一
真空/53(4)/pp.265-270, 2010-04 - さらに表示...
- Isotope Effect of Penetration of Hydrogen and Deuterium into Silicon through Si/SiO2 Interface