牧村 哲也(マキムラ テツヤ)

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一般講演
  • レーザープラズマ軟X線による透明材料の微細加工法の探索
    鳥井周一; 牧村哲也; 新納弘之; 岡田龍雄; 村上浩一
    電気学会 光・量子デバイス研究会/2009-03-06
  • CO2レーザー生成プラズマEUV光による透明材料の微細加工法の探索
    高橋昭彦; 鳥井周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一; 岡田龍雄
    レーザー学会学術講演会第２９回年次大会/2008-12-10
  • CO2レーザー生成プラズマEUV光を用いた透明材料の加工
    高橋昭彦; 鳥井周一; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一; 岡田龍雄
    レーザー学会第３８１回研究会「短波長光の発生とその応用」/2008-12-10
  • レーザープラズマ軟X線によるマイクロ・ナノアブレーション加工とアブレーションプロセス
    牧村哲也; 鳥井周一; 新納弘之; 村上浩一
    第７１回レーザー加工学会講演会/2008-12-08
  • Ablation process of silica glass induced by laser plasma soft X-ray irradiation
    Shuichi Torii; Tetsuya Makimura; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    The 6th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications/2008-09-10
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション過程
    牧村哲也; 鳥井周一; 新納弘之; 村上浩一
    平成２０年電気学会 電子・情報・システム部門大会/2008-08-21
  • EUV材料プロセス
    牧村哲也; 鳥居週一; 新納弘之; 村上浩一
    2008年春季第５５会応用物理学関係連合講演会 シンポジウム/2008-03-28
  • EUVアブレーション
    牧村哲也; 鳥居週一; 新納弘之; 村上浩一
    平成２０年電気学会全国大会シンポジウム/2008-03-21
  • EUVプロセス研究
    牧村哲也
    レーザー学会 XUV-X線の発生とその応用専門委員会/2008-02-07
  • Silica nano-ablation using laser plasma soft X-rays
    Tetsuya Makimura; Shuichi Torii; Hiroyuki Niino; Kouichi ...
    SPIE Europe, Optics and Optoelectronics/2009-04-22
  • レーザープラズマ軟X線による石英のナノ加工
    牧村哲也
    NEDO次世代シーズ懇談会/2005-09-01
  • X線エキシトン法による無機透明材料のナノ加工法の開発
    牧村哲也; 村上浩一
    イノベーションジャパン２００５/2005-09-01
  • レーザープラズマ軟X線による無機透明材料のナノ加工
    牧村哲也; 宮本久生; 内田智; 藤森隆成; 新納弘之; 村上浩一
    第８回X線結像光学シンポジウム/2005-12-01
  • XeF2を用いた放射光高速エッチングビームラインの設計と製作
    中井直史; 牧村哲也; 村上浩一; 宇理須恒雄
    第１９回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム/2006-01-01
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのナノ加工
    内田智; 牧村哲也; 宮本久生; 村上浩一
    レーザー学会学術講演会第２６回年次大会/2006-02-01
  • レーザープラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション
    藤森隆成; 牧村哲也; 内田智; 村上浩一; 新納弘之
    電気学会 光・量子デバイス研究会/2006-08-01
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのナノアブレーションのダイナミクス
    牧村哲也; 内田智; 新納弘之; 村上浩一
    応用物理学会/2006-08-01
  • レーザープラズマ軟X線による光学材料の高エネルギーアブレーション加工
    藤森隆成; 牧村哲也; 内田智; 新納弘之; 村上浩一
    応用物理学会/2006-08-01
  • レーザープラズマ軟X線による合成石英ガラスのナノ加工ダイナミクス
    牧村哲也; 内田智; 新納弘之; 村上浩一
    応用物理学会/2006-08-01
  • レーザープラズマ軟X線知よりアブレーションしたシリカガラスの組成
    藤森隆成; 牧村哲也; 新納弘之; 村上浩一
    応用物理学会/2006-08-01
  • XeF2を用いた放射光高速エッチングビームラインの設計と製作
    中井直史; 江宗乙; 宇野秀隆; 手老龍吾; 鈴井光一; 寺岡有殿; 吉越章隆; 牧村哲也; 村上浩一; 宇理須恒雄
    応用物理学会学術講演会/2006-08-01
  • レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工
    牧村哲也; 内田智; 藤森隆成; 新納弘之; 村上浩一
    電気学会電子・情報システム部門大会/2006-09-06
  • レーザープラズマ軟X線による無機透明材料のナノ加工
    牧村哲也; 村上浩一
    イノベーションジャパン２００６/2006-09-13
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工.
    牧村哲也; 内田智; 藤森隆成; 新納弘之; 村上浩一
    レーザー学会第３５２研究会/2006-09-28
  • レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションとそのメカニズムの検討
    藤森隆成; 井上毅彦; 牧村哲也; 村上浩一; 新納弘之
    電気学会 量子・電子デバイス研究会/2007-03-02
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