牧村 哲也(マキムラ テツヤ)
- 論文
- レーザーアブレーション法による可視発光a-Si/SiO_2およびSiナノクラスター/SiO_2積層構造の製作
鈴木 岳志; 上田 孝; 牧村 哲也; 村上 浩一
レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers/18(0)/p.136, 1998-01 - 可視発光シリコンナノ微粒子 -レーザーアブレーション-
村上 浩一; 牧村 哲也
應用物理/67(7)/pp.817-821, 1998-07 - レーザーアブレションによるSiナノ微粒子形成の物理機構
牧村 哲也; 水田 泰治; 村上 浩一
電子情報通信学会技術研究報告. LQE, レーザ・量子エレクトロニクス/99(136)/pp.13-18, 1999-06 - シリコンナノ微粒子の生成の動的機構と可視発光
牧村 哲也; 水田 泰治; 村上 浩一
レーザー研究/28(6)/pp.338-341, 2000-06 - 2. アブレーションプラズマを用いた材料開発 (<小特集>アブレーションプラズマのプロセス応用)
牧村 哲也; 李 常青; 水田 泰治; 村上 浩一
プラズマ・核融合学会誌/76(11)/pp.1139-1144, 2000-11 - レーザアブレーション法による可視発光Siナノ微粒子の生成ダイナミックスと表面修飾
水田 泰治; 牧村 哲也; 村上 浩一
レーザ加工学会誌/10(3)/pp.277-284, 2003-12 - 国際会議報告 LPM2011会議報告
杉岡 幸次; 新納 弘之; 牧村 哲也
レーザ加工学会誌/19(1)/pp.42-50, 2012-03 - 高パワー密度狭帯域軟X線加工装置の開発とシリコーンゴムの微細加工
鳥居 周一; 牧村 哲也; 村上 浩一; 岡崎 功太; 中村 大輔; 岡田 龍雄; 高橋 昭彦; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2012(1)/pp.5-8, 2012-03 - Ablation of Silica Glass Induced by Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation
Makimura Tetsuya; Fujimori Takashige; Torii Shuichi; Niin...
ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN/94(9)/pp.30-35, 2011-09 - XUV-X線による材料加工
牧村 哲也; 新納 弘之; 鳥居 周一; 村上 浩一
レーザー研究/38(12)/pp.957-962 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム
鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー研究/38(12)/pp.987-991, 2010-12 - Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO2 laser with Fresnel diffraction
Okazaki K.; Torii S.; Makimura T.; Niino H.; Murakami K....
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING/104(2)/pp.593-599, 2011-08 - Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation
Okazaki K.; Torii S.; Makimura T.; Niino H.; Murakami K....
JOURNAL OF LASER MICRO NANOENGINEERING/5(3)/pp.269-272, 2010-12 - X線エキシトン法による石英のナノ加工
牧村 哲也; 劔持 洋一; 宮本 久生; 森 道昭; 近藤 公伯; 村上 浩一
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2004(1)/pp.1-4, 2004-03 - レーザーとナノ物性 : レーザーアブレーションで創製したSiナノ構造の物性
村上 浩一; 牧村 哲也; 深田 直樹
レーザー研究/33(1)/pp.5-11, 2005-01 - レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工
内田 智; 藤森 隆成; 牧村 哲也; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2006(1)/pp.49-52, 2006-03 - レーザープラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション
藤森 隆成; 牧村 哲也; 内田 智; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2006(1)/pp.53-56, 2006-03 - Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-rays at around 10nm
MAKIMURA Tetsuya; MIYAMOTO Hisao; UCHIDA Satoshi; FUJIMOR...
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes/45(6)/pp.5545-5547, 2006-06 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工
牧村 哲也; 内田 智; 藤森 隆成; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/352(0)/pp.21-25, 2006-09 - レーザプラズマ軟X線による無機透明材料のアブレーション加工
牧村 哲也; 内田 智; 藤森 隆成; 新納 弘之; 村上 浩一
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society/127(2)/pp.179-184, 2007-02 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションとそのメカニズムの検討
藤森 隆成; 牧村 哲也; 井上 毅彦; 村上 浩一; 新納 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2007(16)/pp.41-44, 2007-03 - CO_2レーザー生成プラズマEUV光を用いた透明材料の加工
高橋 昭彦; 鳥居 周一; 牧村 哲也; 新納 弘之; 村上 浩一; 岡崎 功太; 秋山 智哉; 中村 大輔; 岡...
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/381(0)/pp.1-4, 2008-12 - レーザープラズマ軟X線による透明材料のマイクロ・ナノ加工と加工プロセス
牧村 哲也; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan/382(0)/pp.7-12, 2009-01 - レーザプラズマ軟X線による透明材料の微細加工法の探索
鳥居 周一; 牧村 哲也; 村上 浩一; 新納 弘之; 岡崎 功太; 高橋 昭彦; 秋山 智哉; 中村 大輔; 岡...
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会/2009(32)/pp.49-53, 2009-03 - レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション過程
牧村 哲也; 藤森 隆成; 鳥居 周一; 新納 弘之; 村上 浩一
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society/129(4)/pp.595-600, 2009-04 - さらに表示...
- レーザーアブレーション法による可視発光a-Si/SiO_2およびSiナノクラスター/SiO_2積層構造の製作